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Ȩ>Á¦Ç°Á¤º¸>°¡°øºÐ¾ß |
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Çü½Ä |
ULC-100D(S) |
ULG-100D(H3) |
ULG-100D(5A) |
Á÷¼±Ãà |
XÃà |
300 |
300 |
450 |
YÃà |
25 |
100 |
100 |
ZÃà |
150 |
150 |
150 |
ÃÖ¼Ò¼³Á¤´ÜÀ§(nm) |
1 |
ÃÖ´ë°¡°øÀ̼ۼӵµ(mm/min) |
X,Z:500 Y:300 |
X,Y,Z : 500 |
¿öÅ©ÁÖÃà |
ȸÀü¼Óµµ(min-1) |
0-1500 |
Áø°ø ô °æ(mm) |
¥õ100 |
CÃà±â´É |
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Standard |
¿¬»èÁÖÃàȸÀü¼Óµµ(min-1) |
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5000~40000 |
10000~60000 |
BÃà ¼±È¸Å×À̺í |
À̼ۼӵµ(deg/min) |
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ÃÖ¼Ò¼³Á¤´ÜÀ§(deg) |
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Ãà ±¸¼º ()¾ÈÀº ¿É¼Ç»ç¾ç |
X, Y, Z |
X,Y,Z,C |
X,Y,Z,B,C |
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