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Çü½Ä ULC-100D(S) ULG-100D(H3) ULG-100D(5A)
Á÷¼±Ãà XÃà 300 300 450
YÃà 25 100 100
ZÃà 150 150 150
ÃÖ¼Ò¼³Á¤´ÜÀ§(nm) 1
ÃÖ´ë°¡°øÀ̼ۼӵµ(mm/min) X,Z:500
Y:300
X,Y,Z : 500
¿öÅ©ÁÖÃà ȸÀü¼Óµµ(min-1) 0-1500
Áø°ø ô °æ(mm) ¥õ100
CÃà±â´É Standard
¿¬»èÁÖÃàȸÀü¼Óµµ(min-1) 5000~40000 10000~60000
BÃà ¼±È¸Å×À̺í À̼ۼӵµ(deg/min)
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Ãà ±¸¼º ()¾ÈÀº ¿É¼Ç»ç¾ç X, Y, Z X,Y,Z,C X,Y,Z,B,C
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