항목

초소형 틸트 센서

형식

TM-2070（광학 HEAD）　/　GP-2000(화상처리유니트）

측정대상물

광학평면（반사율 0.5%이상）

측정항목

TILT（θX,θY）

측정가능거리

0～110mm　±70min

0～170mm　±45min

0～250mm　±30min우측 그림 참조

측정방식

광학오토코리메타

측정범위

TILT（θX,θY）

±70分（원형범위）

Repeatability※1

1sec

Linearity※2

±0.25%　of　F.S.（±0.35min상당）

광원

파장

650±10nm

출력

Max 1mW（JIS　C6802　2014　Class　2）

Beam size

φ1mm

소비전력

Max 15W

외형 크기（돌기부제외）

TM-2070：W38×D42×H18mm　/　GP-2000：W50×D55×H100mm

무게

TM-2070：0.1kg　/　GP-2000　0.3kg