Measurement Object

?TARGET（FH-2312）

Measurement Items

Tilt（θX,θY）、Displacement（Z）、

Position（X,Y）、Rotation（θ）

Working Dantance

90±0.5mm※2

Measurement Range

Tilt（θX,θY）

±60 min（Circular range）

Displacement（Z）

±1.0mm

Position（X,Y）

±0.5mm

Rotation（θ）

±90min

Resolution

Tilt（θX,θY）

0.002 min

Displacement（Z）

0.06μm

Position（X,Y）

0.02μm

Rotation（θ）

0.01 min

Repeatabillity

※3

Tilt（θX,θY）

0.03 min

Displacement（Z）

1.0μm

Position（X,Y）

0.5μm

Rotation（θ）

0.2 min

Linearity※4

Tilt（θX,θY）

±0.17% of F.S.

Displacement（Z）

±0.44% of F.S.

Position（X,Y）

±0.6% of F.S.

Rotation（θ）

±0.3% of F.S.