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| 개 요 |
- 변위와 틸트 센서를 일체화하여 적은 공간 차지, 비용 절감, 사용 Jig의 절감등이 가능.
- 휴대폰용 카메라 모듈(VCM, 피에조), 스테핑 모터 검사에 최적
- 변위(Z) 및 틸트(Θx , Θy)를 동시 측정
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| 광학 센서 |
HT-8490 |
| 신호 처리 유니트 |
IP-8680-001 |
IP-8680A ※1 |
| 측정 거리(W.D) |
80㎜ |
| X, Y 틸트 |
측정 범위 |
±90min |
| 분해능 (디지털) |
0.03min ※2 |
| 분해능 (아날로그) |
0.15min ※3 |
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| Z 변위 |
측정 범위 |
±4㎜ |
| 분해능 (디지털) |
0.5㎛ ※2 |
| 분해능 (아날로그) |
3.3㎛ ※3 |
- |
| 디지털 데이터 출력 횟수 |
100회/초 |
50회/초 |
| 아날로그 데이터 출력 횟수 |
10,000회/초 |
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| 변위 틸트 아날로그 출력 |
±5V(ND시 : +10V) |
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※1 KATSURA OPTO 측정 소프트 VSTS용 전류 드라이버탑재 신호 처리 유니트
※2 KATSURA OPTO 표준 대상물을 기준 거리로 하여 평균 횟수를 1회로 측정한 경우의 값
※3 KATSURA OPTO 표준 대상물을 기준 거리로 하여 측정한 값의 P-P를 환산한 값
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