측정 대상물

전용 TARGET（FH-2312）

측정 항목

틸트（θX,θY）、변위（Z）、위치（X,Y）、

회전（θ）※1

측정 거리

90±0.5mm※2

측정 범위

틸트（θX,θY）

±60 min（원형범위）

변위（Z）

±1.0mm

위치（X,Y）

±0.5mm

회전（θ）

±90min

Resolution

틸트（θX、θY）

0.002 min

변위（Z）

0.06μm

위치（X,Y）

0.02μm

회전(θ)

0.01 min

Repeatabillity

※3

틸트（θX、θY）

0.03 min

변위（Z）

1.0μm

위치（X,Y）

0.5μm

회전(θ)

0.2 min

Linearity※4

틸트（θX、θY）

±0.17% of F.S.

변위（Z）

±0.44% of F.S.

위치（X,Y）

±0.6% of F.S.

회전(θ)

±0.3% of F.S.