| 주장비 크기(WⅩHⅩD) |
700 Ⅹ 780 Ⅹ 1500 (mm) |
1000 Ⅹ 1100 Ⅹ 1400 (mm) |
1200 Ⅹ1345 Ⅹ 1550 (mm) |
| 측정 범위(X, Y, Z-축) |
30 Ⅹ 30 Ⅹ 20 mm |
100 Ⅹ100 Ⅹ 350 mm |
200 Ⅹ 200 Ⅹ 45 mm |
| 스케일 |
He-Ne Frequency stabilized Laser(He-Ne주파수 안정화 레이저) |
| 프로브 |
Atomic force probe
Ruby Tip curvature radius 0.5 ㎜
Diamond : Tip curvature radius 2 ㎛
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| 최대 측정각도 |
75° |
60° |
| 프로브 측정 정도 |
Ruby stylus
Surface inclined angle
Up to 30° 0.01 ~ 0.05 ㎛
Up to 45° ~ 0.08 ㎛
Up to 60° ~ 0.15 ㎛
Up to 70° ~ 0.15 ㎛
(downward)
|
Ruby stylus
Surface inclined angle
Up to 30° 0.01 ~ 0.05 ㎛
Up to 45° ~ 0.1 ㎛
Up to 60° ~ 0.3 ㎛
|
Standard diamond stylus
Surface inclined angle
Up to 30° up to 0.1 ㎛ : Actual value(Not guaranteed value)
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| 좌표축 에러 |
Up to 100 ㎜ : Within 0.05 ㎛(Repeatabilty : Within 0.05 ㎛)
Up to 200 ㎜ : Within 0.1 ㎛(Repeatabilty : Within 0.05 ㎛)
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| 측정 속도 |
0.005 to 5 ㎜/s
variable in multiple steps
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0.01 to 10 ㎜/s
variable in multiple steps
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| 기본 소프트웨어 |
자동 NC 생성, 자동 얼라인먼트(프로브 R 교정 포함), 데이터 편집, 자동 센터링, 측정 모니터링, 3-D 칼라 그래픽, 리사주 파형 표시 기능 |
